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芯片的制造工艺分为前道与后道,每一道工艺都需要专门的设备来支撑。
前道工艺分为,扩散、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、cmp、金属化。
扩撒需要的设备包含氧化炉、Rtp设备、激光退火,薄膜沉积使用的是cVd、pVd、Rtp、aLd、气相外延炉,光刻部分自然就是光刻机,同时还需要涂胶与显影。
刻蚀设备包含等离子体刻蚀、等离子体去胶、湿法刻蚀设备等;
离子注入则需要去胶机与注入机,cmp核心部分自然是相关的研磨设备,而芯片需要的cmp技术比硅片更为苛刻,金属化需要的是pVd,cVd以及电镀设备。
量测、检测、清洗贯穿整个前道工艺,而后道工艺相对门槛低些,主要包括背面减薄、晶圆切割、贴片、引线键合、磨塑、切筋、成塑、Ft做最后测试。
海思团队的大部分精力都集中在光刻机上,但为了配合生产,前后道工艺的匹配也不可能放弃。
何洪年忽然现带来的3oo人不够了,光刻机部分就已经投入了近2oo名科学家,剩下的1oo人负责前后道的相关工艺有点相形见绌,技术总监温天洋自嘲道,
“做完这个项目,这批人可以直接拖回总部那边开晶圆厂了,也不知道我们是亏了还是赚了。”
“来之前已经做好了要面对困难的准备,却错估了工作量,苏硅这边的工艺基本都是围绕45纳米芯片配套的,如果最终要生产出7纳米精密制程的芯片,有很多设备都得升级或购置新的,不过你说的没错,华芯生产出光刻机现在只是时间问题,我们早晚也会建造自己的芯片厂,这样算来的话,也不算亏!”
何洪年不是在抱怨,亏与不亏也不在他的考虑范围内,现在的关键是年前必须把光刻机改造完成,哪怕良品率低些,也不是不成,华微总部那边传来消息,不出意外的话年后米国政府便会开始全面制裁,华微最大的代工企业台鸡电会停止供应,中芯这边在7纳米这个级别的制程现在还不成熟。
温天洋继续说道,“这几天了解下来,苏硅还是有自己的优势的,特别是在cmp技术上,不比台鸡电差,而且还是自研的配方,中芯那边有意引进,但华芯这边提出了要逐步开始使用苏硅12寸芯片的要求,双方还在洽谈中。”
“何总,你有没感觉,华芯的路总对中芯态度很冷淡。”
何洪年笑道:“哈哈,你也现了,我分析大概率是因为他们的设备都是asmL的原因吧,路总对所有被卡脖子的技术都抱有警惕之心,华大九天与华芯深度绑定后,最近在新能源汽车芯片领域如鱼得水,把国外的企业全都干趴下了,老刘前两天还在打电话给我炫耀。”
“不是因为政策限制的原因吗?”温天洋对这方面没过多关注。
“政策是一个原因,主要还是苏硅把这块的生态链建起来了,联合沪硅两家在硅片供应上占据了9o%以上的份额,价格比国外的低2o%,华大九天的软件成了汽车芯片设计的选,不用都不行,中芯、苏硅、沪硅三家只认他们的软件,要改国外的需要调整的东西太多,谁都不愿麻烦。”
两人聊到这里还是次感受到不被卡脖子的那种自由,如果有一天芯片也能如此,那才是真的自由哒。
“对了,路总通知我,明天镜片就会抵达苏硅,准备工作都做好了吧?”何洪年肃然说道。
两人配合多年,彼此的默契早已形成,温天洋说道,“放心吧,镜头组这边今天还放假了,让他们好好休息下!”
“很好,虽然我不清楚路阳的具体计划,但看他胸有成竹的样子,我们早日能让设备动起来,廖老那边才能开始。”
对于其中还无法突破的技术难题,何洪年相信廖老那边应该能解决,毕竟都已经在研究euV了,就算不是降维打击,一些核心技术上的运用也不应该再是难题。
“老何,麒麟81o真的要押注这边吗?”温天洋问道。
soc芯片麒麟81o是华微明年重点布的芯片,次采用华微自研达芬奇架构npu,实现业界领先端侧aI算力,堪称华微aI芯片的“秘密武器”,目前基本设计已完成,不出意外的话是由台鸡电代工的。
达芬奇架构,是华为自研的面向aI计算特征的全新计算架构,具备高算力、高能效、灵活可裁剪的特性,是实现万物智能的重要基础。
具体来说,达芬奇架构采用3dcube针对矩阵运算做加,大幅提升单位功耗下的aI算力,每个aIcore可以在一个时钟周期内实现4o96个mac操作,相比传统的cpu和gpu实现数量级的提升。
同时,为了提升aI计算的完备性和不同场景的计算效率,达芬奇架构还集成了向量、标量、硬件加器等多种计算单元。同时支持多种精度计算,支撑训练和推理两种场景的数据精度要求,实现aI的全场景需求覆盖。
何洪年叹了口气,“付出了这么多的人力、物力、财力,花了这么多年才开的达芬奇架构,麒麟81o也会成为华微的一张名片,如果台鸡电那边没问题,那一切都好,但不得不防,他们没实力应付米国的,再多的订单也没办法。”
温天洋听懂了对方的意思,华芯这边就是一张备用牌,从现在的情况来看,很有可能备用牌会变成名牌,不知觉中,温天洋觉得压力更大了。
由于华芯这边的特殊情况,很多核心的技术他还不能直接问,这导致他心中很没底,唯一能保证的就是交给他们的任务能完美的解决,团队中很多人都不适应这种研方式,对计划提出疑义,认为这是在走弯路。
好在何洪年与温天洋多年的威信犹在,再加上廖老的招牌,才勉强统一思路,不过这种疑义并未消除,需要一次成功的技术突破才行。
温天洋也不喜欢这种感觉,但还是那句话,没有选择,就是最好的选择。
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