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第64章 误会但结果不错（第1页）

45还是28，路阳肯定是想直接一步到位的，但他现在不清楚双工件台技术是否匹配，还有海思这边的研实力，如果选择了后者连设备都启动不了，那就算有系统也白费。

廖锡昌知道路阳的想法，肃然说道：

“选择45还是28，我给诸位一个参考方向，第一，就是要能让机器顺利运行，第二，研进度的预估，如果28纳米需要用1年时间才出结果，那肯定是选择45纳米，这需要何总这边的考量。”

何洪年皱眉紧思，手中的资料并不复杂，里面详细介绍了每项技术的进度，如果是单工件台技术，28纳米的机会也不小，但是双工件台的话，他不好预估。

几名相关方向的总工也开始议论起来，

“华卓工件的朱教授我认识，去年我曾去那边看过，他们双工件台的技术还停留在低端制程上，单工件台可以达到9o纳米的精度，距离我们的要求还很远。”

路阳听后大受打击，2o18年的技术还差这么远吗？

廖老说道：“你这个判断是对的，申城微电子9o纳米duV光刻机使用的就是华卓的工件台，资料各位也看到了，关于工件台与控制系统，9o纳米的制程技术是比较成熟的，以海思的研实力，我相信如果选择单工件台，45或者28各位应该有一定的把握，对吗？”

温天洋缓缓说道：“廖老过誉了，工件台主要还是高精度的控制问题，工件台用于承载硅片，掩模台用于承载掩模板，实现对准、调平调焦、步进和扫描曝光的功能，两者需要在高、高加度下实现纳米级甚至亚纳米级的精度，28纳米的精度需要对工件台和掩模台的跟踪定位精度要求小于1纳米。”

另外一名总工补充道：“双工件台，一个台子用于测量，一个台子用于曝光，两者之间的精密同步才是最难的地方，如果研单工件台，我们无需考虑同步问题，如果是双工件台，那所需的工作量不是翻一倍那么简单。”

路阳开始有点跟不上节奏了，asmL的euV光刻机目前使用的也只是单工件台，由此可知两者的之间的技术难度有多大。

廖老沉思几秒，说道：“何总，如果只是让工件台顺利运行，暂时不考虑误差，你们把握如何？”

看来廖老跟路阳的想法一致，都是想一步到位，利用路阳的能力实现优化。

对廖老的问题，何洪年感觉到有些诧异，作为华国芯片第一人，在研上不该如此激进，想了下还是回答道：

“如果不考虑误差的话，我想年前我们能攻关出来，不过误差的后续调整往往会直接卡住整个项目，到时可能都得一切从来。”

一旁的几名总工也附和道，光刻机本来就是最精密的设备，不考虑误差最后的成品便无法交付。

“既然诸位都签了保密协议，有些事你们知道也无妨，现在我们正全力研euV光刻机，在工件台方面，有华科院还有十几所高校的专家正在全力计算，如果两边在一些通用计算上能配合起来，会省很大的功夫。”

廖老也只是找了个借口，没想到海思众人脸上却是一副原来如此的表情。

温天洋这下完全明白了为何在这么关键的时候，华微抽调这么多的研人员，孤注一掷，押宝华芯，euV三个字深深印入了他的脑海。

“如果是这样的话，我建议直接上28纳米，双工件台！”

路阳一怔，大哥，廖老那是在吹牛，只是借口啊，你们究竟在脑补些什么啊？

其他人居然都没提反对意见，连一向稳重严谨的何洪年似乎都充满了信心。

廖锡昌也被这突如其来的结果给搞懵了，脸色一变，“各位，2个月时间，有把握让设备运行起来？”

温天洋笑道：“廖老，设备现在不正在运行吗？如果是新造一台机器，那肯定没可能，但只是改造升级的话，最难的镜片工艺已解决，浸没式技术申城微电子那边已有进展，剩下的无非就是工件台与其他控制系统方面的问题。”

“这些其实大部分都是数学计算的问题，这次来的团队不光是海思的，还有华微总部的科学家们，我相信2个月的集中攻坚，我们还是有机会的。”

路阳被温天洋的这番话说得怦然心动，消失的火苗再次燃起，看向廖老，这种事还是需要老人家来下决定。

见对方这么一说，廖老似乎也觉得有一定道理，在一台已经运行的设备上改造，而且只需要他运行起来，哪怕最后流片良品率是个位数，都能后期优化。

最终，双方达成目标，直接一步到位，把苏硅半导体的9o纳米浸没式duV光刻机改造成28纳米浸没式双工件台duV光刻机。

廖老没参加晚宴，直接带着助手赶回申城微电子那边。

这两天第一批euV光刻机的镜片就会运抵申城，在华微的帮助下，胡稚那边采购的一些核心部件也会运回国内，光刻机所需的各类零部件到位大半，现在廖老正在全力改造存放实验机的净室。

晚宴由周怀义与王顺和主持，几轮下来，双方关系更为融洽。

“何总，有什么需求尽管给王总说，一定全力配合还海思的团队。”自从周怀义开始主持工作后，掘了另一项技能，那就是酒量，简直深不见底。

“周总，这次华微申城公司为了配合我们，在园区那边拨了一栋楼给我们使用，距离苏硅也就半小时车程，其他方面你们也尽管放心，公司都有安排。”何洪年一直紧绷的情绪，今天终于得到释放。

一是看到了希望，二是廖老那边确认了他的推测，以目前的信息汇总来看，euV光刻机的研一定是国家在后面支持，有别于以往的任何一次，这回很低调，外界几乎一无所知。

“路总，这回还是要多谢你啊！走一个。”

两人碰杯，一饮而尽。

“年哥，任老那边还好吧！”路阳一直对没能帮到孟文心的事耿耿于怀。

何洪年双目爆无以比拟的气势，“任老不会倒，华微也不会倒，这种局面早在预料之中，现在我们反而更有信心了，因为华芯！”

华芯，当初周怀义随便取的一个名字，华国之芯，早晚一天，会名副其实！